中国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产

　　本月中旬，合肥至微项目当日正式量产，这是中国国内首个立项又最先量产的 12 英寸晶圆再生工厂。

　　 所谓晶圆再生，指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。

　　 据介绍，合肥至微项目总投资近 10 亿元，2020 年 3 月正式开工，2020 年 12 月项目设备基本搬入调试，2021 年 3 月，进入试生产阶段，至 6 月进入量产阶段。

　　 合肥量产的这一晶圆再生项目以 14 纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的 12 英寸晶圆再生产线。该项目全面达产后，可形成每年 168 万片晶圆再生及 120 万件零部件清洗的能力，满产后年产值可超过 6 亿元。

　　 目前我国在晶圆制造领域中完成了 8 英寸晶圆的自给自足，与硅芯片制程工艺的定义标准不同，一般来说，规格尺寸越大的晶圆，生产难度越高。

　　 合肥至微半导体是至纯科技旗下的一家负责半导体晶圆再生和部件再生项目的载体。至纯科技前不久量产成功的 28 纳米湿法清洗设备已经交付给中芯国际、华虹集团使用，有关 14 纳米、7 纳米制程的清洗设备将于 2022 年交给华为、中芯国际等国产厂商进行客户认证。

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