中科仪亮相券商策略会 半导体真空设备业务进展全面解读

　　中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司6月16日披露投资者关系活动记录表。公司于2026年6月12日在深圳东海朗廷酒店参加券商线下策略会，广发证券、国元证券、鹏华基金、博时基金、中金基金等多家机构参与。

　　据同壁财经了解，中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。2025年度，公司实现营业收入12.91亿元，同比增长19.30%；归母净利润8.44亿元，同比增长337.77%。

　　关于在手订单，公司表示目前在手订单充足，生产及备货安排充分，产能利用状态良好，可有效保障市场订单交付。

　　关于先进制程测试验证进展，公司回应称，当前在集成电路领域，公司已通过先进制程中等工艺、苛刻工艺环节总计28项工艺类别中14项的测试验证。对于尚未完成测试验证的14项工艺类别，已全部完成相应产品的研制，目前正在进行或陆续进入客户的测试验证阶段，全部测试验证工作预计将于2026年第四季度前陆续完成，待完成测试验证程序后即具备批量交付的条件。

　　关于IPO募投项目产能提升，公司表示本次IPO募集资金投资项目中包括了“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”，预计募投项目达到预定可使用状态后，公司干式线台。

　　关于海外拓展，公司表示正在稳步推进海外市场开拓，已制定海外客户和营销渠道开发的发展战略，内部已设立“海外事业开发组”专门从事海外市场开拓，重点开发韩国、新加坡、马来西亚、中国台湾地区等境外客户。

　　此外，公司还介绍了半导体专用温控冷水机和一体机与工艺废气处理设备等新产品，相关产品已在海内外多家企业实现规模化批量落地，全球累计装机量近百台。