岱勒新材公布“一种防止工件粘上盘的研磨盘组合及研磨方法”专利

　　天眼查APP显示，近日，长沙岱勒新材料科技股份有限公司申请的“一种防止工件粘上盘的研磨盘组合及研磨方法”专利公布。摘要显示，本发明公开了一种防止工件粘上盘的研磨盘组合，包括上磨盘和下磨盘，上磨盘与下磨盘相向的一侧均设置有工作面，上磨盘和下磨盘上均开设有连通的过液通道，上磨盘的研磨区域面积占工作面面积比值小于下磨盘的研磨区域面积占工作面面积比值。研磨区域由若干凸起孤岛的顶面组成，相邻凸起孤岛间设置有沟槽，若干沟槽相互连通形成过液通道。定义单个凸起孤岛顶面的轮廓周长与顶面面积的比值为K值，且满足所述上磨盘的凸起孤岛的K值大于所述下磨盘的凸起孤岛的K值。通过上下磨盘的差异化设计，使下磨盘对工件的吸附力稳定大于上磨盘，从根本上避免工件粘附在上磨盘导致的破片问题。