燕东微：研发投入增长，硅光突破显著 16.56%

　　在激烈的市场竞争中，燕东微坚持创新核心战略，不断加大新品研发投入，推动产品更新换代。2024 年上半年，研发投入达 11332.63 万元，同比增长 16.56%，新增专利 21 个，其中发明专利 8 个，累计专利数达 399 个，发明专利 85 个。燕东微在硅光工艺技术上获重大突破，拥有自主研发的 SiN 硅光工艺技术，实现无裂纹化学计量 SiN 薄膜淀积和低侧壁粗糙度刻蚀，波导损耗达行业先进水平。开发 5 款新产品转入量产，月产能 1000 片，良率超 95%，实现稳定供货。8 英寸相关硅光产品实现市场化销售，12 英寸硅光关键工艺开发获良好反响。燕东微将继续深耕硅光芯片领域，加大科研投入，拓展产品应用领域，扩大市场规模，提升产能，未来发展更稳健可持续，保持领先优势。